半導(dǎo)體清洗材料：激光清洗在半導(dǎo)體的應(yīng)用！鯤鵬精密智能科技給大家伙們講解分析一下吧！

　　激光清洗在許多領(lǐng)域發(fā)揮著重要的作用，在汽車制造、半導(dǎo)體晶圓清洗、精密零件加工制造、軍事裝備清洗、建筑清洗、文化遺產(chǎn)保護(hù)、線路板清洗、精密零件加工制造、ＬＣＤ清洗、去除殘膠可以起到重要作用。

　　目前，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷萎縮，相對(duì)的集成電路器件已從平面結(jié)構(gòu)向三維結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變，集成電路的制造工藝越來越復(fù)雜，往往需要經(jīng)過數(shù)百甚至數(shù)千道工藝步驟。對(duì)于半導(dǎo)體器件制造來說，在每道工藝過程中，都會(huì)或多或少地對(duì)表面的二氧化硅顆粒、金屬顆粒或殘留有機(jī)物進(jìn)行污染，使器件特征尺寸不斷縮小，三維器件結(jié)構(gòu)日益復(fù)雜，半導(dǎo)體器件對(duì)顆粒污染敏感，雜質(zhì)濃度和含量呈上升趨勢(shì)。對(duì)硅掩膜表面污染顆粒的清洗技術(shù)提出了更高的要求。關(guān)鍵是要克服污染顆粒與基質(zhì)之間巨大的吸附力。傳統(tǒng)的化學(xué)清洗、機(jī)械清洗和超聲波清洗方法不能滿足需要，激光清洗可以輕松解決這類污染問題。

　　此外，集成電路的萎縮，尺寸、表面粗糙度和物質(zhì)損失必須在清潔的過程中，注意刪除粒子不損害材料和圖形是很基本的要求，激光清洗技術(shù)具有非接觸，無熱效應(yīng)，不干凈的表面損傷，是解決半導(dǎo)體器件污染的較好清洗方法。

　　半導(dǎo)體材料的特征參數(shù)與雜質(zhì)原子和晶體缺陷密切相關(guān)。例如，電阻率的變化很大，這取決于雜質(zhì)原子的類型和數(shù)量、載流子遷移率和非平衡載流子壽命

　　它一般隨著雜質(zhì)原子和晶體缺陷的增加而降低。另一方面，半導(dǎo)體材料的各種半導(dǎo)體性質(zhì)都離不開各種雜質(zhì)原子的作用。對(duì)于晶體缺陷，除了在一般情況下盡可能的減少和去掉晶體缺陷外，在某些情況下還需要將其控制在一定的水平，甚至在晶體缺陷已經(jīng)存在的情況下也要進(jìn)行適當(dāng)?shù)奶幚砗蟛拍苁褂谩榱讼拗坪屠冒雽?dǎo)體材料中的雜質(zhì)原子和晶體缺陷，有必要開發(fā)一套制備合適的半導(dǎo)體材料的方法，這就是半導(dǎo)體材料技術(shù)。這些方法可以概括為提純、單晶制備、雜質(zhì)和缺陷控制。